層流潔凈棚是一種用于制造微電子產(chǎn)品、半導(dǎo)體、精密儀器等對環(huán)境要求嚴格的行業(yè)使用的設(shè)備，具有噪音低、風(fēng)量小、振動小、潔凈度高等特點。它采用層流罩（或者稱為百級潔凈罩）作為潔凈單元，形式上類似于大的橢圓形空調(diào)箱。層流罩內(nèi)有過濾器，可以控制空氣的流向，使空氣以一定速度流經(jīng)濾塵器，然后流經(jīng)過濾器，將塵埃粒子送至工作臺面。
需要注意的是，不同類型的層流潔凈棚，其潔凈度與噪音數(shù)值可能會有所不同。
