掃描電鏡圖像的形成需要各個系統(tǒng)相互配合，電子光學系統(tǒng)為掃描電鏡提供的電子束，信號探測系統(tǒng)將電子束與樣品相互作用產生的信號進行采集與處理。電子光學系統(tǒng)內容請參考往期文章，本篇主要對掃描電鏡的信號探測系統(tǒng)進行介紹。
掃描電鏡可以采集多種不同類型的信號用于成像和分析，其中二次電子(SE)和背散射電子(BSE)信號是基本也是常見的兩種信號類型。
不同廠家和型號的電鏡在采集SE，BSE信號時所用的探測器都具有各自特的技術，但旁置式二次電子探測器和極靴下背散射電子探測器在架構和工作原理方面相對固定，應用也很廣泛，因此本文只會對旁置式二次電子探測器和極靴下背散射電子探測器進行介紹。
STEM探測器和經典的極靴下背散射電子探測器類似，一般也采用半導體材質，并分割為好幾塊，
其中一塊位于樣品的正下方，主要用于接收正透過樣品的透射電子，即所謂的明場模式；還有的位于明場探測器的周圍，接收經過散射的透射電子，即所謂的暗場模式。
掃描電鏡及X射線能譜儀或電子探針為準確鑒定鋼中非金屬夾雜物屬性提供了非?？煽康募夹g，他可以將D類等非金屬夾雜物的二維和三維形貌、與所含元素的X射線元素面分布圖、與其內含有元素或所含簡單氧化物的重量百分數(shù)和原子百分數(shù)定量分析結果有機結合起來，對這種D類非金屬夾雜物給出一個全新的詮釋。由此，作者提出了非金屬夾雜物的相結構概念，用“復相夾雜物”代替目前常用的“復雜夾雜物”或“復合夾雜物”，重新認識這個對鋼性能有重要影響的D類非金屬夾雜物，與業(yè)界同行商榷。
激光掃描共聚焦顯微鏡是在傳統(tǒng)熒光顯微鏡成像的基礎上采用激光作為光源，通過使用激光掃描裝置和共軛聚焦裝置，利用計算機對所觀察的對象進行數(shù)字圖像處理的現(xiàn)代化光學顯微鏡。它能以的分辨率采集細胞或組織內部的熒光標記圖像、觀察細胞或組織內部的微細結構和形態(tài)學變化、在亞細胞水平觀察胞內重要離子濃度或 pH 的變化、結合電生理技術觀察和記錄細胞的生理活動。使用激光掃描共聚焦顯微鏡，還可以對觀察樣品進行斷層掃描和成像、重構和分析細胞的三維空間結構。
掃描電鏡及X射線能譜儀或電子探針為準確鑒定鋼中非金屬夾雜物屬性提供了非?？煽康募夹g，他可以將D類等非金屬夾雜物的二維和三維形貌、與所含元素的X射線元素面分布圖、與其內含有元素或所含簡單氧化物的重量百分數(shù)和原子百分數(shù)定量分析結果有機結合起來，對這種D類非金屬夾雜物給出一個全新的詮釋。由此，作者提出了非金屬夾雜物的相結構概念
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